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本发明公开了一种自平衡式抗静电晶圆载具，本发明涉及晶圆载具技术领域，包括撑板、一号动杆、撑底、放置盒和平衡模块，所述撑板的顶部安装有一号动杆，所述一号动杆的输出端通过转环安装有撑底，所述撑底的顶部安装有放置盒，所述放置盒为中间分裂移动式，所...
该专利属于江苏晟驰微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晟驰微电子有限公司授权不得商用。

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