【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆载具，具体为一种自平衡式抗静电晶圆载具。
技术介绍
1、抗静电晶圆载具是设计用于存储和运输晶圆的设备，晶圆载具是用于在加工制程中以及工厂之间晶圆的存储、传送、运输以及防护的重要半导体塑料制品，晶圆厂搬运方案的必备部件，但是现有的晶圆载具无法自动调节平衡度容易使晶圆倾斜翻倒。
2、现有的晶圆载具存在的缺陷是：
3、1、专利文件cn109524337b公开了一种晶圆载具，“其包含下侧板、左侧板、右侧板、上侧板、后侧板、左滑轨组、右滑轨组、左止挡部件、右止挡部件以及控制闸门。左侧板可连接于下侧板的左端。右侧板可连接于下侧板的右端。上侧板可连接于左侧板及右侧板的上端。后侧板可连接于下侧板、左侧板及上侧板的后端。左滑轨组可设置于左侧板的内表面上。右滑轨组可设置于右侧板的内表面上。左止挡部件可设置于左滑轨组上。右止挡部件可设置于右滑轨组上。控制闸门可包含前侧板及锁设部件，锁设部件可将前侧板固定于左侧板、右侧板、上侧板及下侧板的前端”，但是现有的晶圆载具无法自动调节平衡度容易使晶圆倾斜翻倒；
4、...
【技术保护点】
1.一种自平衡式抗静电晶圆载具，包括撑板（1）、一号动杆（2）、撑底（3）、放置盒（4）和平衡模块，其特征在于：所述撑板（1）的顶部安装有一号动杆（2），所述一号动杆（2）的输出端通过转环安装有撑底（3），所述撑底（3）的顶部安装有放置盒（4），所述放置盒（4）为中间分裂移动式，所述撑板（1）的顶部安装有平衡模块，所述放置盒（4）的内壁安装有一号抗静电块（9）；
2.根据权利要求1所述的一种自平衡式抗静电晶圆载具，其特征在于：所述实时偏移状态数据传输至集成电路处理板内与偏移数据库进行对比，实时偏移状态数据与偏移数据库对比结果为正常状态，实时偏移状态数据与偏...
【技术特征摘要】
1.一种自平衡式抗静电晶圆载具，包括撑板（1）、一号动杆（2）、撑底（3）、放置盒（4）和平衡模块，其特征在于：所述撑板（1）的顶部安装有一号动杆（2），所述一号动杆（2）的输出端通过转环安装有撑底（3），所述撑底（3）的顶部安装有放置盒（4），所述放置盒（4）为中间分裂移动式，所述撑板（1）的顶部安装有平衡模块，所述放置盒（4）的内壁安装有一号抗静电块（9）；
2.根据权利要求1所述的一种自平衡式抗静电晶圆载具，其特征在于：所述实时偏移状态数据传输至集成电路处理板内与偏移数据库进行对比，实时偏移状态数据与偏移数据库对比结果为正常状态，实时偏移状态数据与偏移数据库对比结果为左偏移状态，实时偏移状态数据与偏移数据库对比结果为右偏移状态。
3.根据权利要求1所述的一种自平衡式抗静电晶圆载具，其特征在于：所述一号抗静电块（9）的内壁安装有稳定晶圆组件，稳定晶圆组件用于防止晶圆在运输过程中意外损坏，撑底（3）的内壁安装有调整组件，调整组件用于各种晶圆尺寸的兼容。
4.根据权利要求3所述的一种自平衡式抗静电晶圆载具，其特征在于：所述稳定晶圆组件包括移动道（14）、滑块（15）、五号弹簧（10）、连接柱（12）、弧形压头（13），移动道（14）位于一号抗静电块（9）的内壁，滑块（15）位于移动道（14）的内壁，五号弹簧（10）位于一号抗静电块（9）的内壁，连接柱（12）位于五号弹簧（10）的一端，一号抗静电块（9）的外壁设有六号口（11），且连接柱（12）的一端通过六号口（11）延伸至一号抗静电块（9）的外壁，弧形压头（13）位于连接柱（12）的一端，一号抗静电块（9）的内壁安装有三号支筒（16），三号支筒（16）的内壁安装有四号缓冲块（17），三号支筒（16）的内壁贯穿安装有t形杆（18），且t形杆（18）的一端与四号缓冲块（17）的外壁连接，t形杆（18）的一端与滑块（15）的外壁连接。
5.根据权利要求4所述的一种自平衡式抗静电晶圆载具，其特征在于：所述t形杆（18）通过三...
【专利技术属性】
技术研发人员：王黎明，
申请(专利权)人：江苏晟驰微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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