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本发明公开了一种在铁镍合金复合材料基底上磁控溅射金属钌的方法。本发明首次在铁镍合金复合材料基底上沉积金属钌，通过优化溅射参数，如溅射温度、功率、气压和时间等，实现对钌层厚度的精确控制。该方法可用于结合度好、均匀性高、厚度易控制的钌层金属的溅...
该专利属于宝鸡嘉琦金属有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宝鸡嘉琦金属有限公司授权不得商用。

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