下载一种清洗槽和硅片清洗系统的技术资料

文档序号:42239730

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本申请实施例提供了一种清洗槽和硅片清洗系统。所述清洗槽包括:槽体,所述槽体内设置一具有开口的容纳腔,所述容纳腔用于容纳清洗液和花篮;加热管,所述加热管呈蛇形状铺设于所述容纳腔的底部,所述加热管用于从所述容纳腔的底部加热所述清洗液;以及提拉机...
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