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本发明属于碳化硅技术领域，公开了一种碳化硅连续长晶设备及碳化硅连续长晶的方法，碳化硅连续长晶设备包括固定轴、旋转升降机构、合成室、长晶室、热处理室、真空系统和调温系统。真空系统和调温系统为每一道工序提供所需要的压强和温度。在第一方向上，热处...
该专利属于深圳市铂科新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市铂科新材料股份有限公司授权不得商用。

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