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本发明实施例公开了一种用于化学气相沉积的组件、装备及承载装置，该组件可以包括：盘状的衬底；外周部分，该外周部分设置在衬底的径向外侧，用于与支承组件的支承单元接触，使得组件支承在支承单元上；以及连接部分，该连接部分将衬底的侧表面与外周部分连接...
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