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一种基板处理装置包括：盘，包括在自中心轴的恒定半径处周期性地设置的多个静电吸盘；支撑盘的盘支架；DC线，通过盘支架电连接到多个静电吸盘；及电源，被配置为向DC线供电。DC线包括：第一DC线，从电源穿过盘支架；配电单元，被配置为分配第一DC线...
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