【技术实现步骤摘要】
本公开内容涉及一种基板处理装置，具体而言，涉及一种在处理多个基板时能够通过主盘的自转和子盘的旋转来提高均匀性的基板处理装置。本公开内容涉及一种旋转电连接器，具体而言，涉及一种用于真空的旋转电连接器。
技术介绍
1、[基板处理装置]
2、通常，通过制造工艺来制造半导体存储器件、液晶显示器、有机发光器件等，在制造工艺中，在基板上执行两次或更多次半导体工艺以沉积并堆叠具有期望形状的结构。
3、半导体制造工艺包括在基板上沉积预定薄膜的沉积工艺，暴露薄膜的选定区域的光刻工艺，去除选定区域的薄膜的蚀刻工艺，等等。半导体工艺在处理室中执行，在处理室中为相应的工艺建立了最佳环境。
4、通常，用于处理诸如晶圆的圆形基板的装置被设置在处理室内，并且该装置具有在圆形的第一盘(主盘)上安装多个第二盘(子盘)的结构，每个第二盘的尺寸小于第一盘。
5、在基板处理装置中，通过将基板放置在第二盘上，旋转第一盘，使第二盘旋转和自转，并将源材料注入到基板上以在基板上沉积和堆叠具有期望形状的结构来执行基板处理。
6...
【技术保护点】
1.一种用于真空的旋转电连接器，包括：
2.根据权利要求1所述的旋转电连接器，进一步包括：
3.根据权利要求2所述的旋转电连接器，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的旋转电连接器，进一步包括：
5.根据权利要求3所述的旋转电连接器，
6.根据权利要求3所述的旋转电连接器，
7.根据权利要求3所述的旋转电连接器，进一步包括：
8.一种用于真空的旋转电连接器，包括：
9.根据权利要求8所述的旋转电连接器，进一步包括：
10.一种基板处理装置，包括：
【技术特征摘要】
1.一种用于真空的旋转电连接器，包括：
2.根据权利要求1所述的旋转电连接器，进一步包括：
3.根据权利要求2所述的旋转电连接器，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的旋转电连接器，进一步包括：
5.根据权利要求3所述的旋转电连接器...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹镐彬，辛昇澈，刘真赫，
申请(专利权)人：周星工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。