下载增强型GaAs HEMT器件及其制造方法、电子设备的技术资料

文档序号:42219139

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本发明涉及半导体器件技术领域,为解决目前增强型GaAs HEMT器件阈值电压小且易漂移的技术问题,提出一种增强型GaAs HEMT器件及其制造方法、电子设备,所述方法包括以下步骤:在GaAs衬底上生长外延层,形成GaAs外延片,其中,外延层...
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