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本发明公开了一种供太阳能电池用的半导体基板及其制造方法。根据本发明的半导体基板包含一基板以及一表面钝化层。该基板具有一上表面。该表面钝化层藉由一原子层沉积制程及／或一电浆辅助原子层沉积制程形成于该基板的该上表面上。...
该专利属于昆山中辰硅晶有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山中辰硅晶有限公司授权不得商用。

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