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一种基于鳍式场效应晶体管的生物传感器及其制备方法，生物传感器自下而上设置衬底和埋氧层，埋氧层两端有源区和漏区，源区和漏区之间有带凹槽的沟道，沟道靠近漏区一侧有栅极电介质，栅极电介质靠近漏区一侧有侧墙，沟道靠近源区一侧未填充栅极电介质形成生物...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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