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本发明公开了基于角分辨椭偏的透明基底薄膜表征快速测量方法，首先建立一个包含透明基底背反射的非相干部分叠加数学模型(IPS)，用以准确描述基底前反射和未知背反射的光学叠加效应；建立(或采购)一个角分辨椭偏测量装置(ARE)及相应的椭偏参数角谱...
该专利属于广东中旺自动化技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东中旺自动化技术有限公司授权不得商用。

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