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本技术公开了一种用于玻璃微孔加工的三轴激光加工装置，其包括机座、定位装置以及驱动定位装置运动的双轴平移机构；还包括激光打孔机构；激光打孔机构包括激光产生装置以及激光输出装置；激光产生装置固定在机座上，激光输出装置受到升降驱动机构的驱动而相对...
该专利属于迈科微纳半导体技术（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈科微纳半导体技术（昆山）有限公司授权不得商用。

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