温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种劈刀研磨装置，包括具有方槽的底座、滑动连接在所述底座上的滑座、多个贯穿所述滑座用于放置劈刀的通孔、设在所述方槽底部的研磨丝，还包括用于按压劈刀的按压组件、沿所述滑座移动方向对称设在劈刀两侧的防卡...
该专利属于申玥蔻西摩半导体（湖州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过申玥蔻西摩半导体（湖州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。