温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及ＳＯ２气体传感器领域，公开一种固体电解质ＳＯ２气体传感器及其制作方法。该固体电解质ＳＯ２气体传感器，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的ＳｉＯ２绝缘层、导电膜、Ｓｎ／ＳｎＦ２薄膜、ＬａＦ３固体电解质薄膜和Ｐｔ网，所述导电膜连出第一引...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。