一种固体电解质ＳＯ２气体传感器及其制作方法技术

本发明专利技术涉及ＳＯ２气体传感器领域，公开一种固体电解质ＳＯ２气体传感器及其制作方法。该固体电解质ＳＯ２气体传感器，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的ＳｉＯ２绝缘层、导电膜、Ｓｎ／ＳｎＦ２薄膜、ＬａＦ３固体电解质薄膜和Ｐｔ网，所述导电膜连出第一引线，Ｐｔ网连出第二引线。本技术方案的中，所述导电膜为Ａｌ膜；其制作方法采用ＭＥＭＳ（微机电系统）技术，工艺简单，实现方便。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固体电解质ＳＯ↓［２］气体传感器，其特征在于，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的ＳｉＯ↓［２］绝缘层、导电膜、Ｓｎ／ＳｎＦ↓［２］薄膜、ＬａＦ↓［３］固体电解质薄膜和Ｐｔ网，所述导电膜连出第一引线，Ｐｔ网连出第二引线。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王海容，孙国良，任军强，蒋庄德，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]