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用于测量气体性质的传感器制造技术
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下载用于测量气体性质的传感器的技术资料
文档序号:42202900
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本申请的实施例公开了一种用于测量气体性质、特别是气体成分,更特别是氢水平的传感器(1600),其中传感器包括半导体管芯(0101),其中半导体管芯包括测量腔(1116),其中测量传感器元件(1322)布置在测量腔中,其中半导体管芯(0101...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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