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本发明公开了一种与柔弹性材料相兼容的高精度无损光刻有机场效应晶体管的功能层的方法。所述方法包括如下步骤：在衬底表面沉积有机场效应晶体管的功能层，在功能层上制备耐水保护层，或耐水保护层与溶剂保护层的双层保护层；在耐溶剂保护层或双层保护层上旋涂...
该专利属于东北师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北师范大学授权不得商用。

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