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本发明公开了一种全自动纳米光学系统，包括光学模块、探针模块、样品模块和近场光路耦合模块，所述光学模块包括光源、探测器和成像子模块；所述探针模块包括探针、探针夹持单元和第一三维位移台；所述样品模块包括样品、第一三维扫描台和第二三维位移台；所述...
该专利属于嘉兴微物科学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴微物科学仪器有限公司授权不得商用。

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