一种全自动纳米光学系统技术方案

技术编号:42199751 阅读:28 留言:0更新日期:2024-07-30 18:46
本发明专利技术公开了一种全自动纳米光学系统,包括光学模块、探针模块、样品模块和近场光路耦合模块,所述光学模块包括光源、探测器和成像子模块;所述探针模块包括探针、探针夹持单元和第一三维位移台;所述样品模块包括样品、第一三维扫描台和第二三维位移台;所述近场光路耦合模块包括抛物面反射镜和第二三维扫描台。本发明专利技术公开的一种全自动纳米光学系统,其通过光学模块、探针模块、样品模块和近场光路耦合模块进行联动,从而最终精确调节样品的位置,进而清晰获得样品的光学信息,其具有精度高、效率高和适用范围广等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于纳米光学信息探测,具体涉及一种全自动纳米光学系统


技术介绍

1、光学显微镜(optical microscope,简写om)是一种显微镜(microscope),利用光学原理,把肉眼所不能分辨的微小物体放大成像,以供人们提取微细结构信息的光学仪器。

2、随着时代发展,普通的光学显微镜已经无法满足样品的探测,其分辨率较低,无法清晰获得样品图像以及光谱信息等。

3、因此,针对上述问题,予以进一步改进。


技术实现思路

1、本专利技术的主要目的在于提供一种全自动纳米光学系统,其通过光学模块、探针模块、样品模块和近场光路耦合模块进行联动,从而最终精确调节样品的位置,进而清晰获得样品的光学信息,其具有精度高、效率高和适用范围广等优点。

2、为达到以上目的,本专利技术提供一种全自动纳米光学系统,包括光学模块、探针模块、样品模块和近场光路耦合模块,其中:

3、所述光学模块包括光源(导引光(可见光),信号光(红外激光))、探测器和成像子模块(长工作距物镜,筒镜,c本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种全自动纳米光学系统,其特征在于,包括光学模块、探针模块、样品模块和近场光路耦合模块,其中:

2.根据权利要求1所述的一种全自动纳米光学系统,其特征在于,步骤S1具体实施为:

3.根据权利要求2所述的一种全自动纳米光学系统,其特征在于,步骤S2具体实施为:

4.根据权利要求3所述的一种全自动纳米光学系统,其特征在于,步骤S3具体实施为:

5.根据权利要求4所述的一种全自动纳米光学系统,其特征在于,步骤S4具体实施为:

【技术特征摘要】

1.一种全自动纳米光学系统,其特征在于,包括光学模块、探针模块、样品模块和近场光路耦合模块,其中:

2.根据权利要求1所述的一种全自动纳米光学系统,其特征在于,步骤s1具体实施为:

3.根据权利要求2所述的一种全自...

【专利技术属性】
技术研发人员:王文杰
申请(专利权)人:嘉兴微物科学仪器有限公司
类型:发明
国别省市:

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