下载一种双折射晶体的厚度与群折射率同步测量装置及方法的技术资料

文档序号:42198726

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本发明提出一种双折射晶体的厚度与群折射率同步测量装置及方法,包括光源、光纤耦合器、参考臂、探测臂组成的光学干涉装置,还包括光谱仪和上位机;所述干涉装置在测量双折射晶体的厚度与群折射率时,将晶体的厚度与群折射率调制生成干涉光信号,具体为:光源...
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