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本发明涉及晶圆的湿法刻蚀领域，尤其涉及一种晶圆的湿法刻蚀多参数调整的方法及装置。该方法包括以下步骤：获取生产当前批次晶圆的湿法刻蚀所需时间、湿法刻蚀的待刻蚀晶圆的转动速度以及湿法刻蚀温度，并计算当前批次晶圆的平均刻蚀量；判断所述当前批次晶圆...
该专利属于深圳市泰科思特精密工业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市泰科思特精密工业有限公司授权不得商用。

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