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本技术公开一种感应加热高纯砷掺杂辅助机构，涉及掺杂辅助机构领域。该感应加热高纯砷掺杂辅助机构包括掺杂器主体，所述掺杂器主体的外部设置有晶体生产炉，所述掺杂器主体的外表面设置有掺杂辅助器，所述掺杂辅助器的外表面设置有用于向掺杂器主体内部提供杂...
该专利属于江西磐盟半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西磐盟半导体科技有限公司授权不得商用。

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