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本发明公开了一种干膜抗蚀剂及其制备方法与应用，其中干膜抗蚀剂包括以下重量份的原料组分：50‑70份碱溶性树脂溶液、30‑40份光聚合单体、0.2‑5份光引发剂；所述光聚合单体为含不饱和双键的光聚合化合物，所述光聚合化合物包括HEMA‑IPD...
该专利属于湖南初源新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南初源新材料股份有限公司授权不得商用。

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