下载一种紫外光和可见光双波段光电探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:42193023

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本发明公开了一种紫外光和可见光双波段光电探测器及其制备方法,本发明在N型GaAs衬底上依次生长N型GaAs缓冲层、N型AlGaAs背面空穴阻挡层、非故意掺杂GaAs吸收层、P型AlGaAs窗口层和P型GaAs接触层,并在探测器上沉积GaO薄...
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