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一种硅片分离的处理方法技术
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文档序号:42187812
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本发明提出了一种硅片分离的处理方法,包括:首先将装有掺杂处理后的硅片的PVC花篮在氢氟酸溶液中浸泡处理4‑12h,然后用流动水冲洗40‑60min;然后将PVC花篮内的硅片进行摆片处理;然后对摆片后的硅片浸泡在清洗剂溶液中超声处理10‑20...
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