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本技术公开了一种新型PECVD加热板吊具手臂，包括支承座，支承座上表面向下凹陷形成用于放置加热板的腔体，支承座上方设有第一横梁，第一横梁两端设有与其垂直设置的第二横梁，其中一个第二横梁通过桥接件与第一横梁固定连接，另一个第二横梁通过导向件滑...
该专利属于上海昶火微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海昶火微电子科技有限公司授权不得商用。

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