一种新型PECVD加热板吊具手臂制造技术

本技术公开了一种新型PECVD加热板吊具手臂，包括支承座，支承座上表面向下凹陷形成用于放置加热板的腔体，支承座上方设有第一横梁，第一横梁两端设有与其垂直设置的第二横梁，其中一个第二横梁通过桥接件与第一横梁固定连接，另一个第二横梁通过导向件滑动设在第一横梁上，导向件通过锁紧夹具与另一个第二横梁连接；第二横梁远离第一横梁一侧滑动设有多个等距分布的夹持组件；使用夹持组件时，可滑动夹持组件，使多个夹持组件与多个凹槽一一对应，通过启动龙门式起重机下降该吊具手臂，使L形夹爪穿过凹槽，再旋转L形夹爪使其台阶面对加热板形成支撑，再启动龙门式起重机将加热板吊起取出，减小划伤加热板表面的风险，避免出现安全隐患。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及辅助工装，具体涉及一种新型pecvd加热板吊具手臂。

技术介绍

1、一般pecvd腔体内的加热板需要定期检修，需要作业人员将加热板从pecvd腔体内取出。pecvd腔体内的加热板与腔体壁间隙小，加热板相对比较重，需要作业人员在不划伤腔体壁和加热板表面的情况下取出加热板。

2、目前辅助作业人员取出加热板的方式为夹具夹持，并通过起重机吊出，这种方式具有以下缺点：

3、1.用起重机吊加热板时，加热板可能会倾斜，存在安全隐患。

4、2.夹具的手臂可能无法通过加热板与腔体壁的间隙，导致在夹持的过程中出现划伤表面的风险。

技术实现思路

1、为解决现有技术中的不足，本技术提供一种新型pecvd加热板吊具手臂，解决了以往取放加热板时存在安全隐患，以及无法通过加热板与腔体壁间隙的问题。

2、为了实现上述目标，本技术采用如下技术方案：

3、一种新型pecvd加热板吊具手臂，包括支承座，所述支承座上表面向下凹陷形成用于放置加热板的腔体，其特征在于，所述支承座上方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种新型PECVD加热板吊具手臂，包括支承座(1)，所述支承座(1)上表面向下凹陷形成用于放置加热板(2)的腔体(3)，其特征在于，所述支承座(1)上方设有第一横梁(4)，所述第一横梁(4)两端设有与其垂直设置的第二横梁(5)，其中一个所述第二横梁(5)通过桥接件(6)与第一横梁(4)固定连接，另一个所述第二横梁(5)通过导向件(7)滑动设在第一横梁(4)上，所述导向件(7)通过锁紧夹具(8)与另一个所述第二横梁(5)连接；

2.根据权利要求1所述的一种新型PECVD加热板吊具手臂，其特征在于，所述加热板(5)沿其边缘开设有多个等距分布的凹槽(10)。

3.根...

【技术特征摘要】

1.一种新型pecvd加热板吊具手臂，包括支承座(1)，所述支承座(1)上表面向下凹陷形成用于放置加热板(2)的腔体(3)，其特征在于，所述支承座(1)上方设有第一横梁(4)，所述第一横梁(4)两端设有与其垂直设置的第二横梁(5)，其中一个所述第二横梁(5)通过桥接件(6)与第一横梁(4)固定连接，另一个所述第二横梁(5)通过导向件(7)滑动设在第一横梁(4)上，所述导向件(7)通过锁紧夹具(8)与另一个所述第二横梁(5)连接；

2.根据权利要求1所述的一种新型pecvd加热板吊具手臂，其特征在于，所述加热板(5)沿其边缘开设有多个等距分布的凹槽(10)。

3.根据权利要求2所述的一种新型pecvd加热板吊具手臂，其特征在于，所述夹持组件(9)包括竖板(901)、l形夹爪(902)、锁紧螺母(903)和t型螺栓(904)；

4.根据权利要求3所述的一种新型pecvd加热板吊具手臂...

【专利技术属性】
技术研发人员：高洪涛，朱明亮，吴志远，
申请(专利权)人：上海昶火微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：