温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种等离子体产生装置和等离子体处理设备，涉及等离子体技术领域，其中，双电极等离子体产生装置包括：等离子体产生主体，所述等离子体产生主体包括进气通道、扩散组件和电极组件，所述进气通道具有进气口和出气口；所述电极组件、所述扩散组件沿...
该专利属于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市恒运昌真空技术股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。