下载一种差分电容式力传感器结构的技术资料

文档序号:42185723

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本发明公开了一种差分电容式力传感器结构,涉及力传感器技术领域,包括感知主体和绝缘的基座,感知主体安装于基座内,感知主体用于探测外界作用的力矩,基座用于包封感知主体以抗干扰;感知主体中,第二电极和封堵条设置于第一电极和第三电极之间,并分别位于...
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