【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及力传感器，特别涉及一种差分电容式力传感器结构。
技术介绍
1、纳米技术的发展对力传感器提出了新的要求，主要表现在以下几个方面：
2、1.体积微小：在纳米技术应用中，传感器需要集成到微小的操作系统、或机械结构中，因此力传感器必须具有极小的体积，以便于集成和安装。
3、2.结构紧凑：结构紧凑的力传感器能够更好地适应复杂的操作环境，减少外界干扰，提高测量的准确性和稳定性。
4、3.力感知分辨率高：纳米级操作要求传感器具有极高的力感知分辨率，以便准确测量微小的力变化。这对于纳米操控和生物工程等领域尤为重要。
5、因此，发展体积微小、结构紧凑且力感知分辨率高的力传感器具有重要的意义：能够提高测量精度，以满足在纳米级下进行力的测量的要求；体积微小结构紧凑能够增强集成能力，提高系统的整体性能；拓展应用领域，高分辨率的力感知能力使得力传感器在生物医学工程、微机械制造和纳米操控等领域有着广泛的应用前景。
6、目前，传统的力传感器大多通过测量反作用力来计算施加力的大小。通常，这种测量...
【技术保护点】
1.一种差分电容式力传感器结构，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的差分电容式力传感器结构，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的差分电容式力传感器结构，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的差分电容式力传感器结构，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的差分电容式力传感器结构，其特征在于，
6.根据权利要求4所述的差分电容式力传感器结构，其特征在于，
7.根据权利要求4所述的差分电容式力传感器结构，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的差分电容式力传感器结构，其特征在于，
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