下载一种GaN基的单晶半导体激光芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:42183782

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本发明涉及一种GaN基的单晶半导体激光芯片及其制备方法。该半导体激光芯片包括由下至上依次相连的衬底、下限制层、下波导层、有源层、上波导层、电子阻挡层、上限制层,所述下限制层包括第一下限制层和第二下限制层;该半导体激光芯片通过增设单晶谐振等离...
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