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激光加工装置以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:42182414
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激光加工装置(100、200、300、400)具备:具有晶片保持面(20a)的工作台(20);激光照射机构(40);以及喷嘴(50)。将具有第一面(10a)以及作为第一面的相反面的第二面(10b)的半导体晶片(10)以使得晶片保持面与第二面...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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