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本技术公开了一种晶圆盒盖体的夹持装置及干燥系统，夹持装置包括安装板及用于夹持多种不同晶圆盒盖体的夹爪，所述夹爪通过枢轴可转动地连接于所述安装板，所述晶圆盒盖体具有面向所述晶圆盒内腔的底面，所述夹爪具有和所述底面相对应的夹持斜面，所述夹持斜面...
该专利属于江苏芯梦半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏芯梦半导体设备有限公司授权不得商用。

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