【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体，具体涉及一种晶圆盒盖体的夹持装置及干燥系统。
技术介绍
1、在清洗晶圆盒后，为了使晶圆盒获得更好的干燥效果，需要将晶圆盒盒体和晶圆盒盖体分开后一起放入干燥箱内，其中晶圆盒盖体通过吸盘固定在干燥箱门板上，由于干燥过程中干燥箱内处于真空状态，吸盘会失效，所以需要一种夹持装置将晶圆盒盖体固定。现有的夹持装置只能夹持一种晶圆盒盖体，如果更换不同规格的晶圆盒就会出现盖体无法被夹持的情况，从而导致在干燥过程中盖体从原有位置移动甚至脱落，影响设备的正常运行。
技术实现思路
1、针对上述技术问题，本技术提供一种晶圆盒盖体的夹持装置，能够夹持多种规格的晶圆盒盖体。本技术还提供一种干燥系统，干燥的效果较好。
2、本技术采用如下技术方案：
3、一种晶圆盒盖体的夹持装置，包括安装板及用于夹持多种不同晶圆盒盖体的夹爪，所述夹爪通过枢轴可转动地连接于所述安装板，所述晶圆盒盖体具有面向所述晶圆盒内腔的底面，所述夹爪具有和所述底面相对应的夹持斜面，所述夹持斜面和所述枢轴之间具有第...
【技术保护点】
1.一种晶圆盒盖体的夹持装置，其特征在于，包括安装板及用于夹持多种不同晶圆盒盖体的夹爪，所述夹爪通过枢轴可转动地连接于所述安装板，所述晶圆盒盖体具有面向所述晶圆盒内腔的底面，所述夹爪具有和所述底面相对应的夹持斜面，所述夹持斜面和所述枢轴之间具有第一距离和第二距离；
2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述第二距离的范围为25-30mm，所述第一距离的范围为50-55mm。
3.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹爪还包括夹持部，在夹持时，所述夹持部和所述夹持斜面共同抵在所述晶圆盒盖体上或所述夹持斜面抵在所述晶圆盒盖体上。<...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒盖体的夹持装置，其特征在于，包括安装板及用于夹持多种不同晶圆盒盖体的夹爪，所述夹爪通过枢轴可转动地连接于所述安装板，所述晶圆盒盖体具有面向所述晶圆盒内腔的底面，所述夹爪具有和所述底面相对应的夹持斜面，所述夹持斜面和所述枢轴之间具有第一距离和第二距离；
2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述第二距离的范围为25-30mm，所述第一距离的范围为50-55mm。
3.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹爪还包括夹持部，在夹持时，所述夹持部和所述夹持斜面共同抵在所述晶圆盒盖体上或所述夹持斜面抵在所述晶圆盒盖体上。
4.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括旋转盘、与所述旋转盘连接的推板以及与所述旋转盘连接的驱动气缸，所述旋转盘能够将所述驱动气缸输出的旋转运动转换为所述推板的直线运动，以带动所述夹爪夹持或松开所述晶圆盒盖体。
5.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述推板的一端连接有紧固件；所述旋转盘上设置有与所述紧固件适配的滑槽，所述驱动气缸驱动所述旋转盘转动带动所述紧固件沿所述滑槽运动；其中，所述滑槽至所述旋转盘边缘的距离不等。
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【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：江苏芯梦半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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