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本技术涉及承载装置技术领域，具体为一种晶圆吹扫用承载盒，包括晶圆吹扫用承载盒主体，承载组件的上方固定安装有工作台，工作台的上方安装有过滤板，过滤板的上方右侧固定安装有第二固定器，第二固定器的左侧安装有第一固定器，第一固定器的下方固定安装有伸...
该专利属于无锡颂林达科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡颂林达科技有限公司授权不得商用。

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