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本技术公开了一种可测量真空紫外灯光强空间分布的装置，其具体结构包括真空紫外灯、气体进样毛细管、真空紫外灯固定座、橡胶密封圈、金属栅网、绝缘环、光电子产生电极、遮光环以及腔体。本技术通过使用具有不同内径的遮光环来改变光电子产生截面，通过改变绝...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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