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一种满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体制造技术
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下载一种满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体的技术资料
文档序号:42172737
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本技术公开了一种满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,解决了现有光学气体传感器无法同时满足高灵敏度的检测精度和全量程的检测范围的技术问题。本技术包括腔体结构、光学结构、泵吸进出气结构及气体检测模组,具体包括设置有进气嘴和出气嘴的气室,所述...
该专利属于汉威科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过汉威科技集团股份有限公司授权不得商用。
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