一种满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体制造技术

技术编号:42172737 阅读:27 留言:0更新日期:2024-07-27 00:19
本技术公开了一种满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,解决了现有光学气体传感器无法同时满足高灵敏度的检测精度和全量程的检测范围的技术问题。本技术包括腔体结构、光学结构、泵吸进出气结构及气体检测模组,具体包括设置有进气嘴和出气嘴的气室,所述气室内间隔设置有相互反射准直光束的第一反射镜和第二反射镜,所述第一反射镜上设置有与光纤准直器对应的准直光束射入孔、与第一探测器对应的准直光束射出孔,与所述第一反射镜或第二反射镜前三次反射的光束相对应设置有第二探测器。技术提供了一种结构简单、性能稳定、长光程的满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学气体检测,特别是指一种满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体


技术介绍

1、现有的光学气体传感器具有寿命长、精度高、抗中毒等优点,在气体检测领域广泛应用。光学腔体为光学气体传感器的核心部件,直接决定传感器的性能和外形尺寸。

2、随着在气体检测领域中对气体检测灵敏度要求的提高,依据lambert-beer定律,增加光学腔体的有效光程是一种有效可靠的方法。而在有限的空间内实现更长的光程,则需要光束在光学腔体内进行更多次的反射。

3、现有的长光程的光学腔体,具有检测灵敏度高的优点,但同时存在气体吸收易饱和的特性、其检测气体浓度范围较窄的技术问题。而能够检测全量程的光学腔体,又存在检测灵敏度较低的技术问题。

4、由于待测气体浓度的不确定性,要求光学气体传感器既要实现高灵敏度的检测精度,又要满足全量程的检测范围,而现有技术中的光学气体传感器无法同时满足高灵敏度的检测精度和全量程的检测范围。


技术实现思路

1、针对上述
技术介绍
中的不足,本技术提出一种满足全量程高灵敏气体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,包括设置有进气嘴(5)和出气嘴(6)的气室气室(4),其特征在于:所述气室(4)内间隔设置有相互反射准直光束的第一反射镜(1)和第二反射镜(2),所述第一反射镜(1)上设置有与光纤准直器(13)对应的准直光束射入孔、与第一探测器(10)对应的准直光束射出孔,与所述第一反射镜(1)或第二反射镜(2)前一至五次反射的光束相对应设置有第二探测器(11)。

2.根据权利要求1所述的满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,其特征在于:所述第一探测器(10)和第二探测器(11)均设置在第一反射镜(1)背离第二反射镜(2)的一侧。

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【技术特征摘要】

1.一种满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,包括设置有进气嘴(5)和出气嘴(6)的气室气室(4),其特征在于:所述气室(4)内间隔设置有相互反射准直光束的第一反射镜(1)和第二反射镜(2),所述第一反射镜(1)上设置有与光纤准直器(13)对应的准直光束射入孔、与第一探测器(10)对应的准直光束射出孔,与所述第一反射镜(1)或第二反射镜(2)前一至五次反射的光束相对应设置有第二探测器(11)。

2.根据权利要求1所述的满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,其特征在于:所述第一探测器(10)和第二探测器(11)均设置在第一反射镜(1)背离第二反射镜(2)的一侧。

3.根据权利要求1所述的满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,其特征在于:所述第一探测器(10)和第二探测器(11)均设置在第二反射镜(2)背离第一反射镜(1)的一侧。

4.根据权利要求1所述的满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,其特征在于:所述第一探测器(10)设置在第一反射镜(1)背离第二反射镜(2)的一侧,所述第二探测器(11)设置在第二反射镜(2)背离第一反射镜(1)的一侧。

5.根据权利要求1-4任一项所述的满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,其特征在于:所述第一反射镜(1)为平凹反射镜,所述第二反射镜(2)为凹面反射镜。

6.根据权利要求5所述的满足全量程高灵敏气体检测的微型光学腔体,其特征在于:所述第一反射镜(1)在直径d1区域内的曲率半径为r1、在直径d...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨承霖陈海永杨清永寇婷婷赵占平张延军沈杰
申请(专利权)人:汉威科技集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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