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本技术提供腔门门阀以及设备腔。所述腔门门阀包括驱动模块、门板以及门轴组件，所述门轴组件与所述门板固定连接并由驱动模块驱动带动所述门板转动以打开或关闭设备腔上的通道口，所述门轴组件包括多个门轴段、用于将多个门轴段连接起来的联轴器以及用于支撑门...
该专利属于理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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