【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及腔门门阀、设备腔以及pvd设备。
技术介绍
1、薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称hit或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
2、在异质结太阳能电池制造中，需要通过物理气相沉积(physical vapordeposition，pvd)设备进行pvd工艺，从而在经pecvd工艺形成的p型非晶硅及n型非晶硅上沉积透明导电膜(tco)。
3、pvd设备镀膜线通常为连续多腔体结构，通过腔门门阀将各腔体隔开实现各工位真空梯度变化，来减少基片进出腔体时对工艺区真空度的影响。参见图1，其为现有技术的腔门门阀实施例的组成结构示意图。如图1所示，现有技术的腔门门阀包括气缸(未图示)、曲柄(未图示)、动力引入装置10、门板11、多个卡爪12以及门轴13，门轴13与门板11通过多个卡爪12固定连接，气缸输出轴...
【技术保护点】
1.一种腔门门阀，其包括驱动模块、门板以及门轴组件，所述门轴组件与所述门板固定连接并由驱动模块驱动带动所述门板转动以打开或关闭设备腔上的通道口，其特征在于，所述门轴组件包括多个门轴段、用于将多个门轴段连接起来的联轴器以及用于支撑门轴段的多个轴承座。
2.根据权利要求1所述的腔门门阀，其特征在于，所述联轴器包括键块、第一固定件、第二固定件以及连接件，所述键块的两端分别设置在相邻门轴段相对开设的开口中，所述第一固定件、第二固定件分别固定在相邻的两个门轴段上，所述连接件的两端分别与所述第一固定件、第二固定件相连接。
3.根据权利要求2所述的腔门门阀，...
【技术特征摘要】
1.一种腔门门阀，其包括驱动模块、门板以及门轴组件，所述门轴组件与所述门板固定连接并由驱动模块驱动带动所述门板转动以打开或关闭设备腔上的通道口，其特征在于，所述门轴组件包括多个门轴段、用于将多个门轴段连接起来的联轴器以及用于支撑门轴段的多个轴承座。
2.根据权利要求1所述的腔门门阀，其特征在于，所述联轴器包括键块、第一固定件、第二固定件以及连接件，所述键块的两端分别设置在相邻门轴段相对开设的开口中，所述第一固定件、第二固定件分别固定在相邻的两个门轴段上，所述连接件的两端分别与所述第一固定件、第二固定件相连接。
3.根据权利要求2所述的腔门门阀，其特征在于，所述门板与所述门轴段之间通过多个卡爪固定，每个轴承座两侧分别设置一个卡爪。
4.根据权利要求3所述的腔门门阀，其特征在于，所述门板在打开位与关闭位之间的旋转角度为90度。
5.根据权利要求1所述的腔门门阀，其特征在于，所述轴承座包括座体以及用于将门轴段固定在所述座体中的第三固定件，所述座体包括轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：常昱，
申请(专利权)人：理想万里晖半导体设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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