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本申请提供了一种掩模版载台，包括：载台本体，用于承载及固定掩模版，所述载台本体用于液体喷淋时带动所述掩模版旋转；挡板，固定在所述载台本体上，多个所述挡板沿所述掩模版放置区域的周向分布，当将所述掩模版放置在所述掩模版载台上时，所述挡板位于所述...
该专利属于睿晶半导体（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿晶半导体（宁波）有限公司授权不得商用。

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