温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种硅晶片热退火处理装置，该装置包括：壳体、纵向依次设置于壳体内的盖板、支撑板以及分离组件；分离组件包括：设置于支撑板底部且由至少两个纵向设置的第一顶柱构成的第一顶柱组与驱动第一顶柱组的驱动组件；驱动组件向第一顶柱组施加纵向方向...
该专利属于苏州芯默科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯默科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。