下载熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置的技术资料

文档序号:42169908

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本申请属于微机电系统制造技术领域,涉及熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置,包括:安装平台、三轴运动平台、喷灯、车刀、旋转平台、气滑环、真空腔以及石墨模具;三轴运动平台设在安装平台上,且喷灯与车刀同时设在三轴运动平台上,以实现喷...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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