【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微机电系统制造，特别是熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置。
技术介绍
1、陀螺仪作为一种用于检测物体角速度的传感器，是惯性导航系统的核心器件之一，陀螺仪的性能直接影响着惯性导航系统的成本、体积和精度等关键指标。
2、熔融石英微半球谐振陀螺是一种新型的振动式陀螺仪，兼具半球陀螺高精度的性能潜力，同时又具有微机电陀螺体积小、功耗低、成本低等优点。
3、熔融石英微半球谐振陀螺的核心部件之一是敏感结构，其敏感结构的性能指标决定了陀螺的精度上限，加工高性能的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构至关重要。而影响敏感结构性能最重要的是其曲面壳体结构的加工，曲面壳体结构的对称性会影响陀螺最终的频率裂解和阻尼均匀性。因此，制造高对称性、一致性好的敏感结构曲面壳体是实现高性能微半球谐振陀螺的关键基础。
4、现有技术中，提出了利用高温喷灯吹制的方法，成功实现了熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的加工。
5、但是，现有技术缺乏专门的制造装置与设备，加工出的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳...
【技术保护点】
1.熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，包括：安装平台、三轴运动平台、喷灯、车刀、旋转平台、气滑环、真空腔以及石墨模具；
2.根据权利要求1所述的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，旋转平台包括：主轴、电机以及固定架；
3.根据权利要求2所述的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，固定架包括：安装座、前端盖、后端盖以及后封盖；
4.根据权利要求3所述的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，旋转平台还包括：冷却通道；
5.根...
【技术特征摘要】
1.熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，包括：安装平台、三轴运动平台、喷灯、车刀、旋转平台、气滑环、真空腔以及石墨模具；
2.根据权利要求1所述的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，旋转平台包括：主轴、电机以及固定架；
3.根据权利要求2所述的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，固定架包括：安装座、前端盖、后端盖以及后封盖；
4.根据权利要求3所述的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，旋转平台还包括：冷却通道；
5.根据权利要求1至4任一项所述的熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置，其特征在于，气滑环包括：压紧座、螺纹接口、气管快接口；
6.根据权利要求1至4...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴学忠，肖定邦，席翔，卢坤，张勇猛，李青松，石岩，孙江坤，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：
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