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本技术涉及一种真空升降门及等离子真空设备；真空升降门包括支撑主体，支撑主体上设置有真空室和驱动组件，驱动组件上设置有真空门组件；驱动组件包括驱动电机，驱动电机驱动连接有传动杆，传动杆两端均连接有转向座，转向座均连接有丝杆轴，丝杆轴上均套接有...
该专利属于恒格芯装备（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过恒格芯装备（无锡）有限公司授权不得商用。

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