一种真空升降门及等离子真空设备制造技术

本技术涉及一种真空升降门及等离子真空设备；真空升降门包括支撑主体，支撑主体上设置有真空室和驱动组件，驱动组件上设置有真空门组件；驱动组件包括驱动电机，驱动电机驱动连接有传动杆，传动杆两端均连接有转向座，转向座均连接有丝杆轴，丝杆轴上均套接有丝杆螺母；丝杆轴分别位于真空室的开口的两侧，真空门组件与丝杆螺母连接；驱动电机驱使传动杆正/反向转动，转向座带动丝杆轴同步转动，丝杆螺母同步上/下移动，进而驱使真空门组件上升打开/下降闭合真空室；真空门组件的升降设计为丝杆移动，丝杆轴每个螺纹之间的间距小且固定，可以非常精确的控制升降门的升降高度，起到稳定升降的作用，丝杆升降的真空门失控后不会立即下坠，安全性更高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子加工领域，尤其涉及一种真空升降门。

技术介绍

1、现有各种类型的等离子真空设备的真空门，主流的开门方式有两种，旋转开门和升降开门。旋转开门其开闭方式是真空门的一侧与等离子真空设备的真空室开口的一侧铰接，然后旋转实现开闭；这种开门方式在门打开时，设备前方必须预留出一片区域以供真空门可以顺利的旋转打开，占用空间大，且等离子真空设备前方没有预留出供自动化送料机构设置的空间。升降开门方式可以有效的解决上述问题，但是现有的升降门大都是在真空门的两侧分别配置两个升降电机，通过传动链条带动真空门的升降，这种方式存在几个个问题：1、两端的两个电机很难调试到完全同步，导致真空门的两侧升降不同步。2、传动链条带动真空门升降，对真空门升降高度的精度控制比较低，升降稳定性不高。3、传动链条一旦断链，真空门即不受控制自由落体，易造成重大安全事故。

技术实现思路

1、为了克服上述问题，本技术提供了一种真空升降门，本技术解决其技术问题所采用的技术方案为：

2、一种真空升降门，包括支撑主体，支撑主体上设置有真空室和本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空升降门，其特征在于，包括支撑主体(100)，支撑主体(100)上设置有真空室(300)和驱动组件，驱动组件上设置有真空门组件；其中，

2.根据权利要求1所述的一种真空升降门，其特征在于，所述真空门组件包括真空门(200)和设置在真空门(200)两侧的传动门耳(202)，所述传动门耳(202)均与所述丝杆螺母(212)固定连接，所述传动门耳(202)上设置有若干第二滑轨(208)，所述第二滑轨(208)均垂直于所述真空室(300)的开口，所述真空门(200)通过所述第二滑轨(208)与所述传动门耳(202)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空升降...

【技术特征摘要】

1.一种真空升降门，其特征在于，包括支撑主体(100)，支撑主体(100)上设置有真空室(300)和驱动组件，驱动组件上设置有真空门组件；其中，

2.根据权利要求1所述的一种真空升降门，其特征在于，所述真空门组件包括真空门(200)和设置在真空门(200)两侧的传动门耳(202)，所述传动门耳(202)均与所述丝杆螺母(212)固定连接，所述传动门耳(202)上设置有若干第二滑轨(208)，所述第二滑轨(208)均垂直于所述真空室(300)的开口，所述真空门(200)通过所述第二滑轨(208)与所述传动门耳(202)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空升降门，其特征在于，所述传动门耳(202)上均固接有第一气缸(203)，所述第一气缸(203)的活动端与所述真空门(200)固定连接，所述第一气缸(203)可驱使所述真空门(200)相对所述传动门耳(202)滑动靠近/远离所述真空室(300)的开口。

4.根据权利要求2所述的一种真空升降门，其特征在于，所述支撑主体(100)上还设置有第二气缸(211)，当所述传动门耳(202)移动至上行顶点，所述第二气缸(211)活动端可移动进入/远离所述传动门耳(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，赵义党，于普海，
申请(专利权)人：恒格芯装备无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：