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本技术涉及半导体生产设备领域。陶瓷盘单侧浸泡治具，包括一支撑座，支撑座包括上下设置上部以及下部；上部是上宽下窄的圆锥台状的承载部，承载部的顶部的相对侧开设有取放口，取放口呈长条状；下部是圆筒状的漏液部，漏液部的上端与承载部的下端相连；漏液部...
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