【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产设备领域，具体涉及浸泡治具。
技术介绍
1、陶瓷盘清洗再生过程中，需要对陶瓷盘的顶面附着溶射涂层后，对底面进行药液浸泡去膜，但是，药液只能浸泡到陶瓷盘的一个工作面，且溶射涂层不能遭受破坏，而且，在日常的操作中，很难控制药液正好浸盖陶瓷盘的底面。
2、目前缺乏一种陶瓷盘单侧浸泡的治具。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题，本技术提供陶瓷盘单侧浸泡治具，已解决上述至少一个技术问题。
2、本技术的技术方案是：陶瓷盘单侧浸泡治具，包括一支撑座，其特征在于，所述支撑座包括上下设置上部以及下部；
3、所述上部是上宽下窄的圆锥台状的承载部，所述承载部的顶部的相对侧开设有取放口，所述取放口呈长条状；
4、所述下部是圆筒状的漏液部，所述漏液部的上端与所述承载部的下端相连；
5、所述漏液部的底部开设有至少三个周向排布的漏液口。
6、本技术通过承载部上宽下载便于不同外径的陶瓷盘的放置，通过下部的漏液口，便于药液进入...
【技术保护点】
1.陶瓷盘单侧浸泡治具，包括一支撑座，其特征在于，所述支撑座包括上下设置上部以及下部；
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述漏液口设置有四个。
3.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述承载部的内壁设置有周向排布的刻度线。
4.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：还包括与所述承载部滑动连接的定位柱，所述定位柱的顶部可拆卸连接有定位盘，所述定位盘包括左盘体以及右盘体，所述左盘体以及所述右盘体拼合围成与陶瓷盘的侧壁相抵的槽体，所述定位柱与所述下部的内腔滑动连接。
5....
【技术特征摘要】
1.陶瓷盘单侧浸泡治具，包括一支撑座，其特征在于，所述支撑座包括上下设置上部以及下部；
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述漏液口设置有四个。
3.根据权利要求1所述的陶瓷盘单侧浸泡治具，其特征在于：所述承载部的内壁设置有周向排布的刻度线。
4.根据权利要求1所述的陶瓷盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨炜，贺贤汉，周毅，蒋立峰，王成明，
申请(专利权)人：上海富乐德智能科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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