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本发明提供了一种低温等离子体气体处理装置，第一石英管的两端都设有密封固定塞，两端都有一根金属棒穿过密封固定塞进入到第一石英管内，地电极包括多个铜网，每个铜网缠绕在第一石英管的外部，相邻铜网之间有间隔，第一石英管上设有多个弧形支管，每个支管的...
该专利属于南京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京工业大学授权不得商用。

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